步骤 00 / 12
第 02 步 · 硅
沙子,烧到把别的一切都忘掉
它真的始于石英。二氧化硅在电弧炉中与碳一起加热,交出氧,留下纯度约98%的冶金级硅——对芯片来说,这简直是污物。
把它提纯为电子级多晶硅,纯度要达到九个九甚至更高:十亿个原子里杂散的不到一个。
第 03 步 · 晶体
一整块晶体,比人还高
光纯还不够,还得有序。把一颗籽晶浸入熔融的硅,一边让两者旋转一边缓缓向上提拉,熔体便凝固在籽晶上,与它的晶格完全对齐。
出来的是一整块毫无断裂的单晶,即晶锭,内部任何地方都没有晶界。这就是直拉法(Czochralski 法),自1916年以来原理上几乎没变。
第 06 步 · 光刻胶
涂上一层怕光的东西
晶圆以每分钟数千转的速度旋转,光刻胶滴在中心,旋转把它甩成厚度均匀的薄膜。光照到的地方,它的化学性质就会翻转。制造图案的全部诀窍就在于此。
这也是光刻车间用黄光照明的原因:光刻胶对长波长视而不见,却会被短波长毁掉。
先进光刻胶绝大多数来自日本厂商
第 08 步 · 刻蚀
把图案没保护的地方统统刻掉
现在图案变成了实物。由活性离子组成的等离子体轰击晶圆,蚀去光刻胶留下的一切裸露之处。离子笔直向下飞来,所以刻出的沟槽侧壁垂直,而不是液体会留下的圆碗形。
沉积、图形化、刻蚀,如此反复几十次,每一轮都给一个只有电子显微镜才看得见的结构再加一层楼。
第 09 步 · 掺杂
故意下毒,而且极其精确
纯硅几乎不导电。要做晶体管,就得故意污染它:硼、磷或砷的离子被加速,再按质量过滤,只让目标离子通过,然后射入晶体。
随后一次短暂而剧烈的退火修复损伤,把掺杂原子固定在位。
第 10 步 · 布线
铜的街道,层层叠起
晶体管做好了,现在要把它们连起来。在绝缘体中刻出沟槽,填入铜并抛平,然后在上面做下一层,通过通孔与下层相连。
一颗现代逻辑芯片有十几层甚至更多这样的布线。把它的导线展开,长达数公里。
图表 01 · 谁掌握哪一步
按环节和地区划分的增加值份额,2022年
横着读一行,看谁掌握生产线的某一步。没有哪个地区领先超过寥寥几行,而它领先的那几行,很少是它所依赖的那几行。
图表 02 · 尖端工艺在哪里
全球晶圆产能份额,2022年及2032年预测
2022年,所有以10纳米以下工艺制造的芯片都出自台湾或韩国。预计补贴和新建晶圆厂将在未来十年把尖端产能分散开来,但预计不会把其中的大部分搬走。
图表 03 · 排行榜
晶圆代工市场份额,2026年第二季度
大多数芯片公司没有工厂。它们向代工厂购买产能,而2026年第二季度,这门生意近四分之三归了一家公司。
图表 04 · 那一台机器
ASML 每年售出的 EUV 光刻系统
每一颗尖端芯片都要从这样一台机器下经过,而每一台都来自同一家公司。中国一台也没有拿到:荷兰政府没有批准向中国出口。
- 13.5纳米光的波长
- 50,000每秒汽化的锡滴
- 约3.5亿欧元一台 High-NA 系统的价格
- 1世界上能造它的公司
图表 05 · 电费账单
制造 AI 芯片的用电,和运行它们的用电
芯片要付两次电费:一次在晶圆厂,此后运行的每一秒还要再付。两张账单的增长都快于为之买单的电网。
图表 06 · 2纳米之争
各芯片制造商实现量产的时间
如今三家公司能量产2纳米级芯片,第四家已有原型。中国最好的芯片在不用EUV的情况下制造,落后一到两代,成本无人公布。
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